北京华卓精科科技股份有限公司(证券简称“华卓精科”,证券代码834733)由清华大学IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和国家科技重大专项02重大专项的支持下创立,是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业,是国内第一个成功研制出光刻机双工件台的高科技企业。
公司自2012年成立以来,主营集成电路高端整机、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特种制造,现已经成功推出隔振、超精密运动系统、激光退火设备、晶圆堆叠设备等集成电路装备及关键零部件。公司已获得100余项国内外专利。
公司现有员工260多人,其中技术和研发人员占比75%,博士20余人,硕士研究生80余人。
2019年9月,占地30余亩的亦庄园区投入使用,园区建筑面积45000平米,总投资4.9亿元,建有千级洁净间、万级洁净间、地下负18米世界顶级的光学精密实验室、生产车间、员工食堂、宿舍。